| 发明名称 |
用于散射叠对量测之光瞳平面校准;PUPIL PLANE CALIBRATION FOR SCATTEROMETRY OVERLAY MEASUREMENT |
| 摘要 |
本发明提供用于在散射叠对量测中校准一光瞳中心之方法及校准模组。该校准包括自一第一统计优值(诸如在该光瞳处之每像素之一叠对信号之一平均值)计算波动及相对于该等波动之一第二统计优值(诸如该等波动之一光瞳加权变异数)显着降低(例如最小化)该等波动。 |
| 申请公布号 |
TW201447220 |
申请公布日期 |
2014.12.16 |
| 申请号 |
TW103108273 |
申请日期 |
2014.03.10 |
| 申请人 |
克莱谭克公司 |
发明人 |
布兰欧里兹 巴瑞克;梵许婷 伊瑞娜;亚哈朗 欧费尔;班朵夫 盖伊;波姆荣 兹维 |
| 分类号 |
G01B11/00(2006.01);G03F7/20(2006.01) |
主分类号 |
G01B11/00(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
<name>陈长文</name> |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 |
