发明名称 |
电子装置的制造方法;MANUFACTURING METHOD OF ELECTRONIC DEVICE |
摘要 |
电子装置5经过下述步骤而制造。第1步骤中,将玻璃膜11与支撑玻璃12的相互接触之侧的面11a、面12a的表面粗糙度Ra分别设为2.0nm以下,且使上述两个面11a、面12a接触,而制作积层有玻璃膜11与支撑玻璃12的玻璃膜积层体1;第2步骤中,藉由进行伴有加热的电子装置制造相关处理而在玻璃膜积层体1的玻璃膜11上形成元件51,且利用盖玻璃2将元件51密封,从而制作带支撑玻璃的电子装置3;第3步骤中,将含水的液体4赋予至带支撑玻璃的电子装置3的玻璃膜11与支撑玻璃12的界面,从而将电子装置5自支撑玻璃12剥离。 |
申请公布号 |
TW201446497 |
申请公布日期 |
2014.12.16 |
申请号 |
TW103106510 |
申请日期 |
2014.02.26 |
申请人 |
日本电气硝子股份有限公司 |
发明人 |
松本保弘;山崎康夫;深田睦 |
分类号 |
B32B17/06(2006.01);C03B32/00(2006.01);H01L21/52(2006.01);H01L23/08(2006.01);H01L31/0203(2014.01);H01L31/048(2014.01);H01L51/44(2006.01);H05B33/04(2006.01) |
主分类号 |
B32B17/06(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
<name>叶璟宗</name><name>郑婷文</name><name>詹富闵</name> |
主权项 |
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地址 |
日本 |