排气环组件及包含该排气环组件的基板处理装置

摘要

本发明提供能够提高基板处理效率之基板处理装置。本发明之基板处理装置包含：步骤腔室；夹盘，其位于前述步骤腔室的内部，且支持基板；阻板，其与前述夹盘相对向地配置于前述夹盘的上部，且形成有分配向前述步骤腔室内部供给之步骤气体之分配孔；以及环形状之侧部排气环，其设置于高于前述夹盘之位置，包围通过前述分配孔之步骤气体所流入之处理空间，且形成有排气孔。