| 摘要 |
根据一实施形态，本发明之处理装置包含：冲洗部，其使用冲洗液对存在于处理物之正面之处理液进行冲洗；及乾燥部，其使上述处理物之正面乾燥；且上述乾燥部包含：腔室；喷嘴，其设置于上述腔室之内部且朝向上述处理物之正面喷出气体；气流控制部，其设置于上述冲洗部与设置有上述喷嘴之上述腔室之内部空间之间；及复数个搬送辊，其等沿着上述处理物之搬送方向而排列。而且，上述气流控制部包含设置于上述处理物之搬入侧之第1开口部、及设置于上述处理物之搬出侧之第2开口部，且上述第2开口部之开口面积小于上述第1开口部之开口面积。 |
