黏着带切断方法及黏着带切断装置;ADHESIVE TAPE CUTTING METHOD AND ADHESIVE TAPE CUTTING APPARATUS

摘要

本发明系一面保留覆盖在形成于晶圆W上的缺口部分并贴附的带状黏着带之该缺口部分，一面使第一切断机构备有的刀具沿着工件外径切断该黏着带。将已切成晶圆形状的黏着带一面剥离一面卷取回收后，将已贴附黏着带的晶圆搬送到第二切断机构。第二切断机构利用和缺口相同形状的刀具切下缺口部分的黏着带。