半导体结构及其制程;SEMICONDUCTOR STRUCTURE AND PROCESS THEREOF

摘要

一种半导体结构，包含有一鳍状结构以及一闸极。鳍状结构位于一基底中，其中鳍状结构具有一穿孔位于一悬空部的正下方。闸极围绕悬空部。此外，本发明提供一种半导体制程，包含有下述步骤。首先，提供一基底上。接着，形成一鳍状结构于基底中，其中鳍状结构具有一底部以及一顶部。之后，移除底部的一部份，以使对应上方的顶部形成一悬空部，位于一穿孔上。然后，形成一闸极围绕悬空部。