具有辅助监测功能之半导体制程设备;SEMICONDUCTOR FABRICATION EQUIPMENT HAVING ASSISTANT MONITOR

摘要

一种具有辅助监测功能之半导体制程设备。其包含一轨道、一驱动轴、一第一感测元件以及一计数器。轨道包含一第一端点以及一第二端点。驱动轴具有一端部配置于轨道中，用以于第一端点以及第二端点间进行一往复运动。第一感测元件配置于轨道上之一定点，用以于端部通过定点时产生一第一信号。计数器包含一第一输入端以及一显示端。第一输入端耦接第一感测元件，用以接收第一信号后产生一次计数信息。显示端耦接第一输入端，用以接收次计数信息后以累进方式显示一第一计数数目。