用于对物体的表面成像的方法与装置;A METHOD AND APPARATUS FOR IMAGING A SURFACE OF AN OBJECT

摘要

一种用于对表面成像的方法，其包括用初始带电粒子束以第一扫描速率扫描该表面的第一区域，以便从该第一区域产生第一二次带电粒子束；以及用该初始带电粒子束以比该第一扫描速率快的第二扫描速率扫描该表面的第二区域，以便从该第二区域产生第二二次带电粒子束。该方法还包括在设置成产生回应该束的信号的检测器处接收该第一二次带电粒子束和该第二二次带电粒子束；以及回应该信号形成该第一区域和该第二区域的图像。