新颖胺基-矽烷基胺化合物、制备该化合物之方法以及使用该化合物之含矽薄膜;NOVEL AMINO-SILYL AMINE COMPOUND, METHOD FOR PREPARING THE SAME AND SILICON-CONTAINING THIN-FILM USING THE SAME

摘要

本发明提供一种新颖胺基-矽烷基胺化合物、一种制备该化合物之方法以及一种使用该化合物之含矽薄膜，其中该胺基-矽烷基胺化合物具有热稳定性及高挥发性且在室温下及在易于处理之压力下维持在液态下以藉此藉由各种沈积方法形成具有高纯度以及出色物理及电性质的含矽薄膜。