摘要 |
为一种藉由融液生长法的蓝宝石单晶之制造方法,包含:(i)依据藉由光学性手段观察生长中之蓝宝石单晶和原料熔融液之界面而取得画像资料的工程;(ii)藉由解析该画像资料,取得单晶径之计算值的工程;及(iii)根据该计算值一面控制单晶径,一面使蓝宝石单晶生长的工程,(A)工程(i)包含从射入至光学性手段之光去除超过波长620nm之光之至少一部分的工程,或者(B)工程(ii)包含藉由从画像资料之亮度资讯去除有助于超过波长620nm之光的成分之至少一部分,生成二次画像资料之工程,和藉由解析该二次画像资料,求取单晶径之计算值的工程。 |