| 摘要 |
本发明提供一种使用研磨带将由结晶材料所成之晶圆的周缘予以研磨来制造圆形晶圆的方法。该制造方法系包含：一次研磨工序，其系使被定心配置于具有铅直旋转轴的水平载台的晶圆之周围部和研磨体抵接且使载台旋转来研磨周围部；及测定晶圆之半径且设定被测定的最小半径以下之半径，并沿着周围部而决定设定半径与被测定的晶圆之半径之差Δr的工序；及决定Δr比预定值还大的周围部之部分的工序；以及二次研磨工序，其系使周围部和研磨体抵接且使载台在预定旋转角度之范围内正反向旋转来研磨周围部，研磨体是包含配置于平坦之研磨垫而划分成平坦之研磨面的研磨带，在二次研磨工序中使载台和研磨面沿着水平之轴线而相对摆动，且使载台之正反向旋转的速度降低至与被决定的周围部之部分对应的旋转角度之范围内。 |
