紫外光及深紫外光产生装置;ULTRAVIOLET AND DEEP ULTRAVIOLET GENERATOR

摘要

本发明系利用偏极分光镜将基础雷射光分别导入紫外光产生器与深紫外光产生器,以同步产生紫外光及深紫外光。本发明之装置可调整输出之紫外光及深紫外光的脉冲能量。紫外光及深紫外光可择一输出或同步输出。