用于加强处理一致性及减少基板滑动之承受器;SUSCEPTORS FOR ENHANCED PROCESS UNIFORMITY AND REDUCED SUBSTRATE SLIPPAGE

摘要

本文提供用于支撑基板之设备。在一些实施例中，基板支撑件包括：承受器板材，该承受器板材具有顶表面；凹槽，该凹槽形成于顶表面之内部，其中该凹槽由一边缘界定；以及复数个倾斜支撑元件，该等复数个倾斜支撑元件安置于该凹槽之内，且该等复数个倾斜支撑元件沿该凹槽之边缘安置，其中每一倾斜支撑元件包含第一表面，该第一表面向该凹槽之中心向下倾斜。