使用顺应性材料冷却圆顶;DOME COOLING USING COMPLIANT MATERIAL

摘要

此述的实施例大体上关于用于处理基板的设备。该设备大体上包括处理腔室，该处理腔室包括灯容座，该灯容座含有多个灯，该等灯定位在邻近透光窗处。灯容座内的灯提供辐射能至定位于基板支座上的基板。使用灯容座内的冷却沟道，有助于透光窗的温度控制。灯容座使用顺应性导体热耦接透光窗。该等顺应性导体维持均一的传导长度，而无关透光窗与灯容座的机械加工公差。均一的传导长度促进准确的温度控制。因为顺应性导体的长度是均一的而无关腔室部件的机械加工公差，所以对不同的处理腔室而言，传导长度相同。因此，多个处理腔室之间的温度控制是均一的，从而减少腔室与腔室间的差异。