矽晶制造用芯线固持器

摘要

[主题]本发明之目的系提供一种芯线固持器，使矽晶在矽芯线上气相成长，促进在回收已成长的矽晶棒之前的期间产生的矽晶棒的下部的径成长，并能够有效减少成长时的棒体的倒坏。[解决手段]安装于依据西门子法的矽晶制造装置的底板并用以固持矽芯线及对矽芯线通电的芯线固持器3，其具有用以固持该矽芯线的矽芯线插入孔7，在包含从该矽芯线插入孔7的边缘向外周方向延伸的外缘部的范围内，形成热传导层8，构成该热传导层的材质之热传导率大于构成芯线固持器的基材9的材质。