质量传送工具机械臂组件与含有整合式位移感测器的微拾取阵列架座;MASS TRANSFER TOOL MANIPULATOR ASSEMBLY AND MICRO PICK UP ARRAY MOUNT WITH INTEGRATED DISPLACEMENT SENSOR

摘要

揭示用于自载体基板传送微装置之系统及方法。在一实施例中，质量传送工具机械臂组件允许微拾取阵列上之静电传送头阵列与载体基板上之微装置阵列之间的有效对准。可感测质量传送工具机械臂组件之顺应式元件之位移以控制静电传送头阵列与微装置阵列之间的对准。