基板液体处理装置及气流异常检测方法;SUBSTRATE LIQUID PROCESSING DEVICE AND FLOW ABNORMALITY DETECTION METHOD

摘要

本发明旨在提供一种基板液体处理装置及气流异常检测方法，可检测自液体承接杯体之上部开口部流入液体承接杯体内，于液体承接杯体内流下而朝杯体排气路排出之气流中发生异常。 其中基板液体处理装置包含：基板固持部（10），固持基板（W）并使其旋转；处理液喷嘴（51～53），对基板供给处理液；筒状之液体承接杯体（20、30），包围基板之周围，承接并回收自基板飞散之处理液，于上部具有开口部；壳体（60），收纳基板固持部及液体承接杯体；杯体排气路（36），为使液体承接杯体之内部之氛围排气，连接该液体承接杯体；杯体排气路压力感测器（92），检测杯体排气路内之压力；壳体压力感测器（91），检测液体承接杯体之外侧之壳体内之压力；及控制部（100），壳体压力感测器之检测值（P1）与杯体排气路压力感测器之检测值（Pc）之差在既定之判定基准值以下时，发出通知此事之警报。