光阻剥离液

摘要

经乾蚀刻而变质的光阻膜强力附着于涂布面上，无法以剥离铜膜上的光阻膜之光阻剥离液剥离。另一方面，剥离力强的铝膜用剥离液会使铜膜腐蚀。希望有可以剥离因电浆而变质的光阻膜、且即使基底为铜膜、即使为铝膜、也能实质上不腐蚀的光阻剥离液。以包含三级烷醇胺、和极性溶剂、和水、和环胺、和糖醇为特征的光阻剥离液，可剥离经乾蚀刻而变质的光阻膜，且即使基底为铜膜或铝膜也不会实质地腐蚀。