扫描晶圆检查系统之影像同步;IMAGE SYNCHRONIZATION OF SCANNING WAFER INSPECTION SYSTEM

摘要

一种检查系统包括用于使光点偏转横跨一样本之扫描部分之一光束产生器模组。该系统亦包含侦测通道，该等侦测通道用于回应于朝向一样本引导之一入射光束而感测自该样本发射之光，且产生用于各扫描部分之一经侦测影像。该系统包括一同步系统，该同步系统包括时脉产生器模组，该等时脉产生器模组用于产生用于该光束产生器模组之偏转器以依一特定频率使该等光点扫描横跨该等扫描部分及用于该等侦测通道之各者以依一特定取样速度产生该对应经侦测影像的时序信号。该等时序信号系基于一共同系统时脉而产生，且引起该等偏转器依一同步时序用该等光点进行扫描，且引起该等侦测通道产生一经侦测影像，以最小化该回应影像中之该等扫描部分之间的抖动。