用于搬动基板堆叠之保持系统、装置及方法;RETAINING SYSTEM, DEVICE AND METHOD FOR HANDLING SUBSTRATE STACKS

摘要

本发明系关于一种保持系统(1、20)，其用于搬动与一第二基板(13)接合之一第一基板(4)，该保持系统具有：一保持表面(1o、20o)，用于保持一第一基板(4)，及至少一个凹槽(2、21)，其相对于该保持表面(1o、20o)凹入，该凹槽用于保持磁力作用附接构件(5、5’、5”)以相对于对齐该第一基板(4)之一第二基板(13)固定该第一基板(4)。另外，本发明系关于一种用于搬动一基板堆叠(14)之装置，其由一第一基板(4)及相对于该第一基板(4)对齐之一第二基板(13)构成，该装置具有磁力作用附接构件(5、5’、5”)以用于在一对齐固定化位置中相对于该第二基板(13)固定该第一基板(4)。再者，本发明系关于一种对应方法。就此而言，见图1。