发明名称 |
密封片切断方法及密封片切断装置;METHOD AND APPARATUS FOR CUTTING SEALING SHEET |
摘要 |
一边使覆盖形成于基板的凹口而贴附之密封片的该凹口部分残留,一边将配置于第1切断机构的切割器沿着基板的外径切断该密封片。然后,藉由第2切断机构的切割器,从凹口的开口端的一方使刃缘沿着凹口切入到内端并使其后退,其后,使基板旋转而从另一凹口的开口端,使切割器的刃缘沿着凹口切入到内端,与前半段的切口相连结以将密封片切成凹口形状。 |
申请公布号 |
TW201448007 |
申请公布日期 |
2014.12.16 |
申请号 |
TW103113972 |
申请日期 |
2014.04.17 |
申请人 |
日东电工股份有限公司 |
发明人 |
石井直树;森伸一郎;山本雅之 |
分类号 |
H01L21/304(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/304(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
<name>丁国隆</name><name>黄政诚</name> |
主权项 |
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地址 |
日本 |