蚀刻液

摘要

本发明系提供一种对矽系材料、及Al、W、Ti、TiN及TaN而言不会造成伤害，而可选择性地去除镍铂合金系金属之蚀刻液。藉由本发明之揭示，系提供一种蚀刻液，其系含有羧酸、具有氧化性之卤化物及水，前述羧酸浓度为75质量%以上99质量%以下，且具有氧化性之卤化物之卤素原子于蚀刻液中的浓度为1.4~55mmol/kg。