感应耦合电浆处理装置

摘要

[课题]提供一种可对大型之被处理基板，使用金属窗进行均匀之电浆处理的感应耦合电浆处理装置。[解决手段]一种感应耦合电浆处理装置，系对矩形状的基板施予感应耦合电浆处理，系具备：处理室，收容基板；高频天线，用于在处理室内产生感应耦合电浆；及金属窗，被配置于产生有感应耦合电浆之电浆产生区域与高频天线之间，并对应于基板而设，金属窗(2)系藉由缝隙(7)分割为复数个区域，具有对应于长边(2b)的长边侧区域(202b)与对应于短边(2a)的短边侧区域(202a)，缝隙(7)中的外侧缝隙(71)系具有对应于短边侧区域(202a)的短边侧部份(71a)与对应于长边侧区域(202b)的长边侧部份(71b)，短边侧部份(71a)其宽度系大于长边侧部份(71b)。