半导体装置及其制作方法;SEMICONDUCTOR DEVICE AND FABRICATION METHOD THEREOF

摘要

一种半导体装置，包括鳍状突起结构、绝缘结构、闸极结构、以及磊晶结构。鳍状突起结构系延伸出基板之表面且具有一顶面以及二侧面。绝缘结构系环绕鳍状突出结构。闸极结构包覆部份鳍状突起结构的顶面以及二侧面，以及覆盖部份绝缘结构。其中位于闸极结构下方的绝缘结构具有一第一顶面，位于闸极结构两侧的绝缘结构具有一第二顶面，且第一顶面与高于第二顶面。磊晶结构系设置于闸极结构的一侧且直接接触鳍状突起结构。