| 摘要 |
一种载体基板分离系统及方法。此种载体基板分离系统包括：一装载设备，其中装载一制造基板以及从一结合基板分离的一第一载体基板或一第二载体基板，制造基板中具有一第一及第二面板基板的结合基板耦合至具有第一及第二载体基板的一载体基板，以及第一载体基板或第二载体基板从结合基板分离，一间隙形成设备，设置为在第一面板基板与第一载体基板之间形成一间隙，或在第二面板基板与第二载体基板之间形成一间隙，一分离设备，设置为将从间隙形成设备传送出的制造基板分离第一载体基板或第二载体基板，以及一自动装置，设置为在装载设备、间隙形成设备、以及分离设备之间传送制造基板。 |
