| 发明名称 |
通用化的虚拟检验器;GENERALIZED VIRTUAL INSPECTOR |
| 摘要 |
本发明提供通用化的虚拟检验器。一种系统包含两个或两个以上实际系统，该两个或两个以上实际系统经组态以在(若干)样品安置于该等实际系统内时对该(等)样品执行一或多个程序。该系统亦包含一或多个虚拟系统，该一或多个虚拟系统耦合至该等实际系统以藉此接收由该等实际系统产生之输出且将资讯发送至该等实际系统。该(等)虚拟系统经组态以使用自该等实际系统接收之该输出中之至少某些输出执行一或多个功能。该(等)虚拟系统不能够使该(等)样品安置于其中。 |
| 申请公布号 |
TW201448078 |
申请公布日期 |
2014.12.16 |
| 申请号 |
TW103106345 |
申请日期 |
2014.02.25 |
| 申请人 |
克莱谭克公司 |
发明人 |
杜菲 布莱恩;毕海斯卡 克里斯 |
| 分类号 |
H01L21/66(2006.01);G06T7/00(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/66(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
<name>陈长文</name> |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 |
