用于前级管线电浆减量系统之气体套管;GAS SLEEVE FOR FORELINE PLASMA ABATEMENT SYSTEM

摘要

本文提供用于保护基板处理系统的前级管线之内壁的方法和装置。在一些实施例中，用于在基板处理系统的前级管线中处理废气之装置包括：气体套管发生器，该气体套管发生器包括主体，该主体具有设置成穿过该主体的中心开口；气室，该气室设置在该主体内并且围绕该中心开口；入口，该入口耦接至该气室；以及环孔，该环孔在第一端耦接至该气室并且在与该第一端相对的第二端处形成环形出口，其中该环形出口与该中心开口同心并且通向该中心开口。该气体套管发生器可以设置在前级管线电浆减量系统的上游，以提供气体套管至基板处理系统的前级管线。