探针单元用基底构件、探针固持具、探针单元、探针单元用基底构件的制造方法及探针单元用积层构造体;SUBSTRATE MEMBER FOR PROBE UNIT, PROBE HOLDER, PROBE UNIT, METHOD FOR FABRICATING SUBSTRATE MEMBER FOR PROBE UNIT AND LAMINATED STRUCTURE FOR PROBE UNIT USE

摘要

本发明之探针单元用基底构件，系设在探针单元，该探针单元具备有在两端分别与不同的2个被接触体接触的导电性探针、及将复数个探针以显露出各探针之两端部的态样排列成预定图案并收容之探针固持具，该探针单元用基底构件系用以将探针固持具固定并保持者，该探针单元用基底构件系具备：大致板状的基板，系使用金属或陶瓷等的高强度材料而形成，具有可收容探针固持具的开口部；及被膜，系使用绝缘性材料而形成，且藉由黏接剂或压接片而固着于基板，用以覆盖该基板的2个主面。