图案形成装置及图案形成方法;PATTERN FORMING APPARATUS AND PATTERN FORMING METHOD

摘要

本发明系藉由边框状之下平台61吸附保持橡皮布，并且藉由可个别地升降之复数之手625局部地支持橡皮布之部。使转印辊单元64沿橡皮布之下表面移行并将橡皮布部分地上推，藉此使橡皮布抵接于配置于橡皮布之上方之版或基板。手625随着转印辊单元64之移动而依序下降且向下方退避，藉此避免与转印辊单元64干扰。