改善された摩擦測定を使用する基板研磨終点検出のためのシステムおよび方法

摘要

基板を研磨するための方法、装置、およびシステムが提供される。発明は、上部プラテンと、上部プラテンに結合されたトルク／ひずみ測定器具と、トルク／ひずみ測定器具に結合され上部プラテンを駆動してトルク／ひずみ測定器具を介して回転させるように適合された下部プラテンとを含む。他の実施形態では、発明は、上部キャリッジと、上部キャリッジに結合される横力測定器具と、横力測定器具に結合されて、研磨ヘッドを支持するように適合された下部キャリッジとを含む。多くの追加の態様が開示される。