| 摘要 |
<p>ＲＦデバイス（５）、具体的にはＲＦランプ、ＲＦスパークプラグまたは同様のＨＦプラズマアプリケーションと、前記ＲＦデバイス（５）を動作させるためのＲＦ信号カップリングイン装置（３）とを備えるＲＦシステムが提案される。前記ＲＦシステムは、前記ＲＦデバイス（５）を動作させるためにＲＦ信号を発生するためのオシレータ（７）を備え、前記システムは、前記オシレータ（７）によって生成された前記ＲＦ信号および前記ＲＦデバイスによって反射された信号に基づいて、前記ＲＦデバイスのマッチングの程度に比例した電圧信号（Ｕｐｒｏｐ）を生成するための手段（１５）を備えることを特徴とする。さらに、前記システムは、前記ＲＦデバイス（５）のマッチングの程度に比例した前記電圧信号（Ｕｐｒｏｐ）に基づいて前記オシレータ（７）の出力周波数をマッチングさせるための制御信号（ＵＡ）を生成するための、望ましくはマイクロプロセッサのないデバイス（２７）を備えることを特徴とする。【選択図】 図２</p> |
