| 摘要 |
<p>리니어 액추에이터(A)는, 진공 챔버(40)에 형성된 개구(49)를 두어 해당 진공 챔버(40)의 내부에 향하고, 직선방향으로 왕복이동하는 피스톤 실린더(31)와, 피스톤 실린더(31)를 왕복이동시키는 구동부(70)를 구비한다. 피스톤 실린더(31)의 외표면은, 원통형 부재(32)로 피복되어 있다. 또한, 리니어 액추에이터(A)는, 개구부(49)에 만들어져, 원통형 부재(32)를 접동시키면서 진공 챔버(40)의 내부와 해당 진공 챔버(40)의 외부와의 사이를 봉지(밀봉)하는 접동부(60)을 구비한다. 원통형 부재(32)는, 적어도 피스톤 실린더(31)에 있어서 제2의 접동범위(Lc)를 포함하는 접동범위를 피복하도록 구성된다. 또한 원통형 부재(32)의 외표면은, 피스톤 실린더(31)의 외표면보다도 단위면적당의 기체의 흡착량이 적게 구성되어 있다.</p> |
