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Bei dem Verfahren zur Herstellung von Sauerstoff wird eine PSA-Stufe (Druckwechsel-Adsorptionsstufe) oder eine VPSA- Stufe (Vakuum-Druckwechsel-Adsorptionsstufe) von einem Membranfilter gefolgt. Zur Herstellung von Sauerstoff mit mindestens 99%, vorzugsweise mindestens 99,5% Reinheit ist vorgesehen, dass zunächst mit der PSA- bzw. VPSA-Stufe Sauerstoff mit einer Reinheit von mindestens 96%, vorzugsweise mindestens 97% erzeugt und in nur einem Membranfilter weiter gereinigt wird, wobei der Druck zum Speisen des Membranfilters von der PSA- bzw. VPSA-Stufe stammt. Es ist somit keine zusätzliche Pumpe zum Betreiben des Membranfilters notwendig. |
