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<p>플라즈마 처리 시스템의 반응 챔버에서의 실제 가스 유량을 결정하는 방법이 제공된다. 그 방법은 질량 흐름 제어기 (MFC: mass flow controller) 에 의해 제어된 가스 흐름 전달 시스템에 의해 가스를 반응 챔버로부터 상류에 위치되는 오리피스로 전달하는 단계를 포함한다. 그 방법은 또한 오리피스 내부에 쵸킹된 흐름 (choked flow) 조건을 만들기 위하여 가스를 가압하는 단계를 포함한다. 그 방법은 압력 센서들의 세트를 통해 가스의 상류 압력 값들의 세트를 측정하는 단계를 더 포함한다. 그 방법은 여전히 또 조정 인자들의 세트 중 일 조정 인자를 적용하여 실제 유량을 결정하는 단계를 포함한다. 그 조정 인자는 골든 상류 압력 값들의 세트의 평균에 대한 상류 압력 값들의 세트의 평균의 비율이며, 이것은 MFC 용 표시된 유량과 관련된다.</p> |
