非理想的なセンサ挙動を補正するＸ線回折測定用の多重サンプリングＣＭＯＳセンサ

摘要

ＣＭＯＳアクティブピクセルセンサ内の各ピクセルの読出しノイズが５つのステップのプロセスによって低減され、このプロセスでは、センサからのピクセル電荷データが、センサフレーム時間期間中に複数回で、非破壊でサンプリングされ、利得変動および非線形性に関して補正される。次いで、固定パターン５および暗電流ノイズが推定され、補正済みピクセル電荷データから減算される。次に、リセットノイズが推定され、ピクセル電荷データから減算される。ステップ４では、電荷対時間のモデル関数が、補正済みピクセル電荷データサンプルにフィッティングされる。最後に、フィッティングされたモデル関数は、フレーム境界時間において評価される。