層間多結晶シリコン誘電体キャップおよびその形成方法

摘要

いくつかの実施形態では、第１の浮遊ゲート、第２の浮遊ゲート、および第１の浮遊ゲートと第２の浮遊ゲートとの間に配置された分離層を有する基板上に配置された層間多結晶シリコン誘電体キャップは、第１の浮遊ゲートおよび第２の浮遊ゲートの上部部分上および側壁上に配置された第１の窒素含有層と、第１の窒素含有層上および分離層の上面上に配置された第１の酸素含有層と、第１の酸素含有層の上部部分上および側壁上に配置された第２の窒素含有層と、第２の窒素含有層上および第１の酸素含有層の上面上に配置された第２の酸素含有層とを含むことができる。