| 主权项 |
一种荷电粒子束描绘装置，其特征在于具备：测定部，其测定成为描绘对象之基板之高度方向分布；高度方向分布修正部，其输入将相依于前述基板之描绘位置而产生之图案之位置误差换算成高度方向之值后所得之位置相依高度方向分布，对前述基板之高度方向分布加上前述位置相依高度方向分布，以产生前述基板之经修正之高度方向分布，前述图案之位置误差系包含相依于前述基板之对应描绘位置之分量(component)，且排除相依于对前述基板之对应描绘时间之分量；偏向偏差量运算部，其使用经修正之前述高度方向分布而运算所要描绘之图案之偏向偏差量；偏向量运算部，其运算用以将荷电粒子束偏向至所求得之偏向偏差量经修正之位置之偏向量；及描绘部，其以所求得之偏向量将荷电粒子束偏向，而于基板上描绘图案。 |
