光学感测元件摄取多区域影像方法

摘要

本发明系关于一种光学感测元件摄取多区域影像方法及其装置，主系藉由单一光学感测元件分别对应一待测工件表面之复数单元区域，而可以依次分别摄取其光学影像；以该光学感测元件分别对复数单元区域对焦，以覆叠影像以及多重对焦撷取其光学影像；记录其对于各单元区域之对焦所形成之光学影像，并且转换为电子讯号而输出，并且记录各单元区域对焦过程之焦点距离值；并选取各单元区域中最佳焦距之电子讯号值以及焦距距离值作为标准，并且与该单元区域之邻边区域之焦距相比较，以差值之比较，换算待测工件于该单元区域之瑕疵或是标准状态，藉以利用较为简易之装置与方法升该检测品质之精准度。

主权项

一种光学感测元件摄取多区域影像方法，系包括：A、以单一光学感测元件分别对应一待测工件表面之复数单元区域，而可以依次分别摄取其光学影像；B、以该光学感测元件分别对第一单元区域对焦时，以覆叠影像以及多重对焦撷取其光学影像；C、记录其对于该第一单元区域之对焦所形成之光学影像，并且转换为电子讯号而输出，并且记录各单元区域对焦过程之焦点距离值；D、于该第一单元区域选取一最佳焦距之电子讯号值以及焦距距离值；E、对第二单元区域进行以覆叠影像以及多重对焦撷取影像；依此类推各取得光学影像，并且转换为电子讯号而输出，并且记录各单元区域对焦过程之焦点距离值；于采样多点之后为建立一标准值；F、以该各单元区域所建立之标准值，分别与各单元区域邻边区域之对焦过程之距离值相比较，以差值之比较，换算待测工件于该单元区域之瑕疵或是标准状态，并且计算出该单元区域之Z轴厚度，而藉由计算该Z轴厚度之后，可以配合平面照射即可获得知X轴/Y轴(即长/宽)，测得该单元区域之体积。