| 摘要 |
スペクトル出力を生成するスペクトルカメラは、画像を生成するための対物レンズ（１０）、ミラーアレイ（２０）、複数の光学チャネルのうち種々の光学チャネルに対して、光スペクトルの異なる通過帯域を通過させるフィルタアレイ（３０）（多重の光学チャネルを同じ焦点面の異なる部分に投影するように配置されている）、焦点面に位置し、フィルタ済みの画像コピーを同時に検出する１つ以上のセンサアレイ（４０）を有する。ミラーを用いることにより、光学的劣化を少なくすることができ、光学的品質に対するコストのトレードオフをより良好にできる。光学チャネルを同じ焦点面の異なる部分に投影することにより、単一のセンサまたは同一平面上にある多重センサを使用して、種々の光学チャネルを同時に検出することができ、これによりアライメントと製造をより単純化することができる。 |
