单层钻石颗粒散热器及其相关方法

摘要

本发明系关于一种降低热引发缺陷之热调节半导体装置，及其相关方法。此装置可包含有一散热器，系具有一单层钻石颗粒在一薄金属基体内；以及一半导体材料，系热耦合至该散热器。其中，在该散热器与该半导体材料间之热膨胀系数差异系少于或等于约50%。

主权项

一种降低在散热器与半导体间热引发缺陷的方法，包括：设置一单层钻石颗粒于一薄金属散热器中；以及将该散热器热耦合至一半导体材料，其中，在该散热器与该半导体材料间之热膨胀系数差异系少于或等于约50%；其中，设置该单层钻石颗粒形成于该薄金属散热器中更包括：将该单层钻石颗粒涂布于一金属基板上；将该金属基板置于一含金属离子之离子溶液中；以及通入电流至该离子溶液，使一金属层电镀形成于该金属基板上，以稳固该钻石颗粒。