微波电浆激发装置

摘要

一种微波电浆激发装置，包括一电浆反应腔室、一金属窗框、具有多个窗口之多个窗格、多个微波发射机以及多个导波管。所述金属窗框设置于电浆反应腔室的一面。窗格设置于金属窗框的窗口内，微波发射机则设置于电浆反应腔室外。而导波管分别连接各个微波发射机与各个窗格，以构成多个电浆激发单元。另外，在金属窗框上分别放置多个永久磁铁，则可使上述微波电浆激发装置用作可大面积化之电子回旋共振电浆装置。

主权项

一种微波电浆激发装置，包括：一电浆反应腔室；一金属窗框，设置于该电浆反应腔室的一面，且该金属窗框具有多个窗口；多个窗格，设置于该金属窗框的该些窗口内；多个微波发射机，设置于该电浆反应腔室外；多个导波管，每一导波管分别连接每一所述微波发射机与该电浆反应腔室，以构成多个电浆激发单元；以及多个产生电子回旋共振之永久磁铁，每一永久磁铁分别放置于该电浆反应腔室上方的每一所述导波管的两侧。