藉由凯文探针分析检验静电卡盘之方法

摘要

兹提供一种检验静电卡盘(electrostatic chuck，ESC)的方法。此ESC具有支撑半导体晶圆的介电支撑面。藉由凯文探针(Kelvin probe)扫描该介电支撑面，以获得表面电势图。该表面电势图与一参考性凯文探针表面电势图相比，以判定该ESC是否通过检验。

主权项

一种检验静电卡盘(ESC)的方法，该ESC具有用以支撑一半导体晶圆的一介电支撑面，该方法包括：以一凯文探针扫描该介电支撑面，以获得一二维或三维电表面电势图，该扫描系藉由将该凯文探针于一平行于该介电支撑面的平面上做光栅式扫描以及在横越该介电支撑面之一区域的复数点上绘制该表面电势图而为之；及使该表面电势图与一参考性凯文探针表面电势图做比对，以判定该ESC是否通过检验。