| 发明名称 |
载置台构造及处理装置 |
| 摘要 |
在陶瓷制之载置台本体(72)内部埋设有被供电导体部(94、96)。在载置台本体(72)表面形成凹部形态之连接孔(112)，在该连接孔(112)内部露出有由电性接合于被供电导体部之高熔点金属、其合金或是其化合物所构成之连接端子(110)。被设置在供电用管线构件之前端之供电用连接部(114)为了执行对被供电导体部供电，被插入于连接孔内。应力缓和构件(116)被介设于连接端子和供电用连接部之间。藉由焊材(120)接合应力缓和构件和连接端子。应力缓和构件由不含有钴及镍之金属其合金所构成。依此，可以防止在连接端子和供电用连接部之接合部中产生金属元素热扩散，防止接合强度恶化。 |
| 申请公布号 |
TWI464799 |
申请公布日期 |
2014.12.11 |
| 申请号 |
TW097101801 |
申请日期 |
2008.01.17 |
| 申请人 |
东京威力科创股份有限公司 日本 |
发明人 |
小松智仁;山本弘彦;鸟屋大辅 |
| 分类号 |
H01L21/3065;H01L21/205;H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/3065 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼 |
| 主权项 |
一种载置台构造，具有：载置台本体，其系属于陶瓷制之载置台本体，于上述载置台本体之内部埋设有被供电导体部，并且在上述载置台本体表面形成有凹部形态之连接孔，于上述连接孔内露出电性接合于上述被供电导体部之由高熔点金属、其合金或是其化合物所构成之连接端子；供电用管线构件，其系为了对上述被供电导体部执行供电，具有前端被插入至上述连接孔内之供电用连接部；由导电性材料所构成之应力缓和构件，介存于上述连接端子和上述供电用连接部之间，用以缓和应力；和支柱，其系用以支撑上述载置台本体，该载置台构造之特征为：上述应力缓和构件系由从不含钴及镍之Fe-Pd合金、Zr-Nb-Fe合金、Cr-Fe-Sn合金、Fe-B非晶质合金构成之群中选择出之1种以上之材料所构成，上述应力缓和构件和上述连接端子系藉由不含镍的焊材而接合。 |
| 地址 |
日本 |
