一种压力感测器及其制法

摘要

一种压力感测器及其制法，首先提供具有第一表面之基板，并于该第一表面上形成绝缘层；再于该绝缘层上形成第一电极层，并蚀刻该基板及该第一电极层，以形成贯穿该基板及该绝缘层俾显露该第一电极层之通孔；接着于该第一电极层上堆叠具有导电凸块之感测晶片，并藉由该导电凸块使该感测晶片及该第一电极层电性连接，并于该感测晶片及该第一电极层间形成间距；最后于该感测晶片及该第一电极层上设置保护件，以隔绝外部之干扰。

主权项

一种压力感测器，系包括：一基板，系具有一第一表面，且该第一表面上系铺设有一绝缘层；一开槽，系贯穿该绝缘层，用以释放多余的结构应力；一通孔，系贯穿该基板及该绝缘层；一第一电极层，系铺设于该绝缘层上，并覆盖该通孔邻近该第一表面之一侧，用以透过该通孔与外部之压力产生连动；一感测晶片，系堆叠于该第一电极层上，并具有与该第一电极层电性连接之一导电凸块，其中，该导电凸块系设置于该感测晶片与该第一电极层之间使该感测晶片与该第一电极层间具有一间距；以及一保护件，系设置于该感测晶片及该第一电极层上，用以包覆该感测晶片及该第一电极层以隔绝外部干扰。