薄膜电晶体、薄膜电晶体之制造方法及具有薄膜电晶体之有机发光显示装置

摘要

薄膜电晶体(thin film transistor，TFT)，其使用氧化物半导体做为作用层；制造TFT之方法；以及具有TFT的有机发光显示装置。在一实施例中，TFT包括形成在基板上的第一闸极。源极系形成为和在基板上的闸极间隔开来。第一绝缘层系形成在基板上。作用层是由氧化物半导体所形成，位在第一绝缘层上，并且连接至源极。第二绝缘层系形成在第一绝缘层上。第二闸极系形成在第二绝缘层上，如此不致和第一闸极重叠。汲极系形成为和第二绝缘层上的第二闸极间隔开来，并且连接至作用层。

主权项

一种薄膜电晶体(thin film transistor，TFT)，其包含：基板；第一闸极，其形成在基板上；源极，其形成为和在基板上的第一闸极间隔开来；第一绝缘层，其形成在具有第一闸极和源极的基板上；作用层，其由氧化物半导体所形成，位在具有第一闸极和源极的第一绝缘层上，该作用层系连接至源极；第二绝缘层，其形成在具有作用层的第一绝缘层上；第二闸极，其形成在第二绝缘层上，如此不致和第一闸极重叠；以及汲极，其形成为和第二绝缘层上的第二闸极间隔开来，该汲极系连接至作用层。