三轴式加速度感测器

摘要

本发明系关于一种加速度感测器，该加速度感测器包括一基板与一第一质量元件，该第一质量元件以可绕一轴线旋转之方式与该基板相连，其中，该第一质量元件与一第二质量元件相连，且其相连方式使该第二质量元件可沿一第一方向进行平行于该轴线之运动，该第一质量元件与一第三质量元件相连，且其相连方式使该第三质量元件可沿一第二方向进行垂直于该轴线之运动。

主权项

一种加速度感测器(300，400)，其包括一基板(322，422)与一第一质量元件(302，402)，该第一质量元件呈一外框形式围住至少三个区域且再其中一个位在中央的区域中，以可绕一轴线旋转之方式与该基板(322，422)相连，其中，一质量元件(304，404)位在该至少三个区域的一个第二区域中，且接到该第二区域，且其相连方式使该第二质量元件(304，404)可沿一第一方向进行平行于该轴线之运动，一个第三质量元件位在该至少三个区域的一个第三区域中，且其相连方式使该第三质量元件(305，405)可沿一第二方向进行垂直于该轴线之运动。