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<p>Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Vakuumanordnung (100) Folgendes aufweisen: eine Vakuumkammer (102), eingerichtet zum Prozessieren eines Substrats (200) in einem Vakuum; und mindestens einen Durchgang (104), eingerichtet zum Durchlassen eines Substrats (200) in die Vakuumkammer (102) hinein und/oder aus der Vakuumkammer (102) heraus, wobei der mindestens eine Durchgang (104) mindestens ein Element (106) aufweist, welches derart verschiebbar angeordnet und eingerichtet ist, dass die Größe (109) einer Durchlassöffnung (105) des mindestens einen Durchgangs (104) zum Durchlassen des Substrats (200) in verschiedenen Offenpositionen des Elements (106) veränderbar ist.</p> |
