气场指示片

摘要

一种气场指示片，其设于一开口或一视窗，开口或视窗位于一隔板，隔板位于一机台之二槽室之间，机台提供一化学湿制程。气场指示片包含有：一固定部；以及一指示部，其具有复数个条状片，各条状片具有一自由端与一固定端，固定端连接固定部的一侧。当二槽室之间产生气流时，指示部产生一指示偏角，且自由端指向气压较小的槽室。

主权项

一种气场指示片，其设于一开口或一视窗，该开口或该视窗位于一隔板，该隔板位于一机台之二槽室之间，该机台提供一化学湿制程，该气场指示片包含一抗腐蚀材质，该抗腐蚀材质具有耐水性、弹性、耐化学性与可挠性，该气场指示片包含有：一固定部；以及一指示部，其具有复数个条状片，各条状片具有一自由端与一固定端，该固定端连接该固定部的一侧；其中，当二槽室之间产生气流时，该指示部产生一指示偏角，且该自由端指向该气压较小的槽室。