感测试片及其制作方法

摘要

一种感测试片及其制作方法，感测试片包含绝缘基板以及线路金属图案结构，该线路金属图案层包含由下而上堆叠的第一金属图案层、第二金属图案层、第三金属图案层、第四金属图案层，以及第五金属图案层，其中第一金属图案层、第二金属图案层、第三金属图案层、第四金属图案层及第五图案层的图形及位置完全重叠，且第一金属图案层及第二金属图案层均是以真空镀膜制程制作的奈米级金属膜，均匀度极佳，且具有低电阻，使后续测试电流量稳定，而能避免数据误判并提供较快的测试速度。

主权项

一种感测试片的制作方法，包含：一第一真空镀膜步骤，在一绝缘基板上以蒸镀、溅镀或原子层沉积形成一第一金属膜；一第二真空镀膜步骤，在该第一金属膜上以蒸镀、溅镀或原子层沉积形成一第二金属膜；一黄光成像步骤，在该第二金属膜上形成一光阻图案层；一第一蚀刻步骤，以一第一蚀刻液去除该第二金属膜未被该光阻图案层遮蔽的部分，而形成一第二金属图案层；一第二蚀刻步骤，是以一第二蚀刻液去除该第一金属膜未被该光阻图案层及该第二金属图案层遮蔽的部分，而形成一第一金属图案层；一光阻去除步骤，去除该光阻图案层；以及一化学增层步骤，以电镀或无电镀的方式，在该第二金属图案层上依序形成一第三金属图案层、一第四金属图案层以及一第五金属图案层，其中该第一金属图案层、该第二金属图案层、该第三金属图案层、该第四金属图案层以及该第五图案层的图形及位置完全重叠，该第一蚀刻液不对于该第一金属膜产生反应，而该第二蚀刻液不对于第二金属图案层产生反应。