发明名称 MIM-Kondensatoren in Halbleiterkomponenten und Verfahren zur Herstellung eines Fingerkondensators
摘要 <p>Kondensator (11), umfassend: eine erste Elektrode (150); eine zweite Elektrode (160); und einen zwischen der ersten Elektrode (150) und der zweiten Elektrode (160) angeordneten dielektrischen Schichtstapel (110, 120), wobei der dielektrische Schichtstapel (110, 120) eine erste dielektrische Schicht (110) und eine zweite dielektrische Schicht (120) umfasst, wobei die erste dielektrische Schicht (110) aus einem ersten Material besteht und wobei die zweite dielektrische Schicht (120) aus einem zweiten Material besteht, wobei in der ersten dielektrischen Schicht (110) Metallleitungen und eine Durchkontaktierungsebene angeordnet sind, und wobei in der zweiten dielektrischen Schicht (120) Metallleitungen und eine Durchkontaktierungsebene angeordnet sind, und wobei der Kondensator (11) in mehreren Metallebenen (M1, M2) einer Halbleiterkomponente (10) angeordnet ist, wobei die erste (110) und die zweite dielektrische Schicht (120) Materialien mit entgegengesetztem Temperatur-Koeffizienten der Kapazität (TCC) oder Spannungs-Koeffizienten der Kapazität (VCC) umfassen.</p>
申请公布号 DE102009000627(B4) 申请公布日期 2014.12.11
申请号 DE20091000627 申请日期 2009.02.04
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 FISCHER, ARMIN;RIESS, PHILIPP
分类号 H01L27/08;H01L21/3205;H01L21/82;H01L29/92 主分类号 H01L27/08
代理机构 代理人
主权项
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